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Pad Conditioner Head Assy for 200 Mirra

Pad Conditioner Head Assy for 200 Mirra

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Pad Conditioner Head Assy for 200 Mirra

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型号 : PC200

应用： CMP Mirra
  •  8” Mirra

目的：
  • 12“设备的功能可用于8”设备。
  • 通过稳定的管理可以避免异常的过程。.

目前安装：
  • Samsung-Korea : 210 Set
  • Europe (STmicroelectronics, Etc.) : 150 Set
  • SK Hynix : 150 Set
  • Dongbu HiTeK : 30 Set

HMI （控制器和触摸屏）

附加功能：压力容限报警
  • 它可以通过比较主要设备的校准值和控制器的压力值来进行检查和报警。

新老优势对比

 
当前存在的问题

  • 隔膜式垫片压扁器由于隔膜密封变形而导致频繁和不稳定的下压力而导致故障。这会导致系统停机并影响流程结果。
  • 目前的护垫调节器设计无法检测到正确的上/下位置以及旋转故障。因此，Mirra无法识别错误的上/下位置、旋转皮带断裂和空气泄漏导致的不稳定下压力。特别是在生产过程中，如果压片机不停机，对大多数客户所面临的工艺效果和晶圆产量下降至关重要。

解决方案

  • 为了避免隔膜变形，我们采用了新的气缸设计来代替隔膜。我们新设计的护垫能够缩短PM时间
  • 节约成本，寿命长，工艺稳定，下压力均匀。
  • 垫式压扁机需要上下和转速传感功能，因此我们的新设计可以在检测出故障时提供上下和转速传感的解决方案，以防止晶片损失和提高系统性能。


产品优点：

  • 提高产量成本/节省时间
  • 提供更高的可靠性
  • 气缸式优于隔膜式
  • 集成传感器：向上/向下/旋转
  • 提供更好的正常运行时间
  • 工艺收率显著提高
  • 成本节约和主要产量提高

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