RBC真空润滑剂
RBC半导体用润滑剂是根据Torr中的工艺真空压力、轴承将暴露的温度选择的，并且润滑剂必须与使用的任何工艺气体兼容。每个不同品种真空润滑剂用字母M、U、Y或Z标识。这些润滑油经过多年的实际工厂使用已经得到证实。具体可参阅每个轴承图纸上的蒸汽压力与温度图。
RBC真空润滑油“U”润滑剂
当工艺温度不超过200°C时，使用“U”润滑剂。真空压力轴承图纸所示的蒸汽压力与温度图表所示的限值内。“U”润滑剂对高接触应力和路易斯酸的抵抗力较差。与润滑脂相比，“U”型油产生的旋转扭矩更小。当机器手使用腐蚀性工艺气体进行加工时，使用“U”润滑剂。最不推荐的可用润滑剂。
RBC真空润滑油“M”润滑剂
当工艺温度不超过150°C时，使用“M”润滑剂。真空压力在轴承图纸所示的蒸汽压力与温度图表所示的限值内。“M”润滑剂对高接触应力有很好的抵抗力。“M”润滑剂对路易斯酸有很好的抵抗力。当机器手使用腐蚀性工艺气体进行加工时，使用“M”润滑剂。
RBC真空润滑油“Y”润滑剂
当工艺温度不超过260°C时，使用“Y”润滑剂。真空压力在轴承图纸所示的蒸汽压力与温度图表所示的限值内。“Y”润滑剂对高接触应力具有中等阻力。当机器手使用腐蚀性工艺气体进行加工时，使用“Y”润滑剂。
RBC真空润滑油“Z”润滑剂
当工艺温度不超过150°C时，使用“Z”润滑剂。真空压力在轴承图纸所示的蒸汽压力与温度图表所示的限值内。“Z”润滑油具有优异的抗高接触应力性能。“Z”润滑剂可抵抗中等温度和真空压力。当机器手使用腐蚀性工艺气体进行加工时，不要使用“Z”润滑剂。
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